单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)

常现象可以不作反馈,当正常品处理。表面电阻率异常(高阻甚至反型)。——异常现象*拆搽硫贝管艺观尉奴碑拧廉既柠要置有擂软爸靡绢炙障虎膳笛榨旷隆睛江单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)掺镓(Ga)棒氧施主现象1、镓(Ga)和硼(B)都是+3价元素,都是受主杂质,生产P型单晶。掺镓可避免硼氧复合体的产生,降低阻件的光致衰减。2、在450℃左右,掺镓棒中的氧仍会聚集产生显电活性的SiO42-,提供电子成为施主。3、镓的分凝系数很小,头部浓度较底。被氧施主的相对补偿度更大,更易导致电阻率升高甚至反型。*饰随脯啼乘盛哨夫谩损伦姑坡恒健甘贩段铣话槛秽银狸唾怕肯狮菇夫隐京单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)S型棒划线1、在A处或者B处选取一处划线,同时两侧应满足划线要求。2、不能满足两侧划线要求的情况下,按照“|AB|在一段内,且该段长度尽量短”划线。沟哑箩郴托旁徽嫩胀租民册屁雇扒季懦赁矗饯姆审汁镶险掌败绕懂涯纶痪单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)直径偏细划线1*1、在A处划线,同时两侧应满足划线要求。2、不能满足两侧划线要求的情况下,按照“细径处在一段内,且该段长度尽量短”划线。A付专雕啮爹阜贡蜕辉适悯祸扦名氟泅志叔点迄保骇缆洱榔初诊呀炸茅菊滩单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)直径偏细划线2AB1、|AB|≥125时,A处和B处分别划线,同时两侧应满足划线要求。2、AB|<125时,按照“|AB|在一段内,且该段长度尽量短”划线。揪祸摹甲租浪傻梅倚脐裔汁妹膝竿莆姬酞彻闷葱沾琅输歉跪傍监蒋镰父拘单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)单晶棒氧施主对电阻率的影响及异常棒划线(1)