⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯内蒙古师范大学硕士学位论文...Р第一章引言透明导电薄膜的概述透明导电薄膜的基本特性应用∽浓度、各成分的化学计量比。’因此,薄膜的制备方法与技术对透明导电薄膜的各种.趸魑透明导电氧化物薄膜是重要的光电纳米材料。既具有高的导电性,又在可见光范围内有很高的透光性,且在红外光范围有很高的反射性,在光电产业中有着非常广阔的应用前景。透明导电氧化物薄膜主要包括、及上述氧化物的掺杂体系。透明导电氧化物薄膜本身具有高的载流子浓度,是电的良导体;并在不同的电磁波频率范围内具有光的选择性,会反射红外光,吸收紫外光,又能使可见光穿透。由于具有这些优异的光电特性,使其在太阳能电池、气体传感器、液晶显示器、飞机和汽车所用的导电热窗玻璃牢砗头澜岜等领域得到广泛的透明导电薄膜是把光学透明性能与导电性能复合成~体的光电薄膜材料。这种光电薄膜材料打破了人们传统观念,即人们认为在自然界中,透明的物质一般是不导电的,如水晶、玻璃等;而导电的或导电性能好的物质又往往是不透明的物质,如石墨、金属等。透明导电薄膜正是因为透明与导电性能的结合,成为功能薄膜材料中最具有特色的一类薄膜。无机物类的透明导电薄膜包含:金属薄膜、氧化物薄膜以及其他化合物薄膜,其中以氧化物薄膜占主导地位。透明导电薄膜的质量主要体现在其电阻率、可见光区的透射率、结构和表面形貌等。透明导电薄膜的光学和电学性能主要依赖于薄膜的显微结构、杂质的种类和性能有着极其重要的影响。制备透明导电薄膜的方法多种多样,几乎所有的制备薄膜方法都能制备透明导电薄膜。其中有物理气相沉积浚ㄕ婵照舴⒎ā⑴缤糠ā⒋趴亟ι浞ā脉冲激光沉积法、化学气相沉积⒎从胱幼⑷搿⑴缤咳确纸狻⒃硬阃延以及溶胶.凝胶法【等方法。目前,适合批量生产而且已经形成产业的主要有磁控溅射法和溶胶一凝胶法。
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