LED行业用废氨气处理技术

逆风逃生,并用湿毛由、口罩或衣物置于口鼻处;7)中毒人员应立即送往通风处,进行紧急抢救并通知专业部门。 6总结通过对现有的几种尾气处理技术进行分析比较,发现氨水吸收法具有设备能耗低,副产氨水可抵消能耗、回收设备投资及创造经济效益等优点。并设计了工艺流程,针对此工艺流程进行了LED废氨气吸收测试,从结果可以看出,具有较高的吸收效率,并针对此技术分析了处理安全技术要求和氨水泄漏应急预案。最终说明此技术具有工艺合理,节能等优势。具有较好的应用价值。参考文献: 【l】欧阳欣.MOCVD法制备GaN基LED外延尾气处理技术进展【J】.轻工机械.2013,3 l(3):96.98. 【2】汤剑波,宋常征,李东升.MOCVD尾气中氨气吸附回收的探讨与研究【J】.低温与特气.2013,3l(5):12.16. 【3】刘耀彬,胡观敏.我国LED产业的发展现状、趋势及战略选择【J】.科技进步与对策,20 LO(6):77.81. 【4】高工LED.GLII独家发布上半年LED产业投资分析:报出[DB/OL].htto://news.gg-/asdisp2-65b095fb- 38010--2-.html,2011.10.09/2011-lO.18. 【5】广东省LED产业发展分析及政策建议【J】.广东科技,2011(5):23.27. 2011年中国LED产业上游调研报告【R】.高-1-LED,2011(2):5-7. 【7】张风利,陈熔.国内特种气体研究现状和未来市场应用前景分析【J】.气体分离,2010(3):27.30. 【8】牛丽红,于世林.国内高纯气体应用现状阴.低温与特气,2010(6):7-9. 【9】9陈元灯,陈宇.LED制造技术与应用【M】.北京:电子工业出版社.2009. 【10】彭志辉,黄其煜.半导体代工厂的特气供应系统探讨【J】.半导体技术,2005(8):38.40.