同步带传动晶圆传输机械手精度分析与补偿

M].湖南:湖南大学出版社,2001:87一如. 收穑日期:20D90528 基金项目:江苏省博士后基金项目(0802022C) 中国矿业大学青年科研基金资助项目(20嘴A013) 中国矿业大学蠲9年校级。大学生实践创新训练计划”立项项目(2009—46) 作者简介:彭利平(1987一),男,江苏江阴人,在读本科生万方数据同步带传动晶圆传输机械手精度分析与补偿作者: 刘延杰, 栾玉亮, 吴明月作者单位: 哈尔滨工业大学,机器人技术与系统国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080 刊名: 机械传动英文刊名: JOURNAL OF MECHANICAL TRANSMISSION 年,卷(期): 2010,34(4) 参考文献(8条) 1.Zhang Mike TaoCalibration of wafer handling robots:A fixturing approach 2007 2.杨玉萍;曹清林齿带轮偏心引起的齿形带传动误差研究[期刊论文]- 机械传动 2000(03) 3.杨玉萍;金江多边形效应引起同步带直线传动移动误差的分析研究[期刊论文]- 机械科学与技术 2000(05) 4.李娟高加速度高精度平面并联机器人结构优化与标定技术研究 2007 5.周学才;张启先机器人位姿误差的显著性分析法 1994(增刊) 6.小山富夫齿形带的强度研究 2005 7.Zhang Mike Tao;Goldbery KenFixture-based industrial robot calibration for silicon wafer handling 2006(01) 8.汪劲松;朱煜我国"十五"期间IC制造装备的发展战略研究[期刊论文]- 机器人技术与应用 2002(02) 本文链接:http://d.g./Periodical_jxcd201004009.aspx