数,将数据填入表16。表16电容传感器位移实验数据X(mm)00.51.01.52.02.53.03.54.04.5V(mV)0.5250.4220.3300.2380.1450.062-0.024-0.112-0.200-0.2904、根据表16数据作出△X—V实验曲线并截取线性比较好的线段计算灵敏度S=△V/△X和非线性误差δ及测量范围。实验完毕关闭电源开关。实验三?电涡流传感器位移实验实验目的:了解电涡流传感器测量位移的工作原理和特性。基本原理:电涡流式传感器是一种建立在涡流效应原理上的传感器。电涡流式传感器由传感器线圈和被测物体组成。根据电磁感应原理,当传感器线圈通以交变电流I?1?时,线圈周围空间会产生交变磁场H?1?,当线圈平面靠近某一导体面时,由于线圈磁通链穿过导体,使导体的表面层感应出呈旋涡状自行闭合的电流I2,而I2所形成的磁通链又穿过传感器线圈,这样线圈与涡流“线圈”形成了有一定耦合的互感,最终原线圈反馈一等效电感,导致传感器线圈的阻抗Z发生变化。需用器件与单元:主机箱中的±15V直流稳压电源、电压表;、电涡流传感器实验模板、电涡流传感器、测微头、被测体、示波器。实验步骤:1、调节测微头的微分筒,使微分筒的0刻度值与轴套上的5mm刻度值对准。将电压表量程切换开关切换到20V档,检查接线无误后开启主机箱电源,记下电压表读数,然后逆时针调节测微头微分筒,每隔0.1mm读一个数,直到输出Vo变化很小为止并将数据列入表。X(mm)00.20.40.6……2.22.42.62.83.0Vo(V)0-0.68-1.19-1.53……-3.42-3.67-4.03-4.2-4.363、根据表22数据,画出V-X实验曲线,根据曲线找出线性区域比较好的范围计算灵敏度和线性度。实验完毕,关闭电源。【感想】通过这个实验,我了解了差动变压器式传感器,电容传感器,电涡流传感器的工