述工艺分别对应制绒清洗设备、扩散炉、刻蚀设备、PECVD、丝网印刷设备、烧结炉、自动分选机;以及应用于整体制造过程中的自动化设备,包括自动化装卸片机和上下片机等。PERC电池设备:在铝背场电池设备的基础上新增两类设备:一是沉积背面钝化叠层的设备;二是激光开槽形成背接触的设备。图表9:铝背场及PERC设备构成(标红为PERC设备)?8?9来源:各公司官网、中泰证券研究所光伏电池片技术梳理?2PERC电池VS铝背场电池:设备投资及竞争格局图表10:铝背场及PERC设备投资及竞争格局工艺序号工艺环节设备名称设备作用单GW投资额(万元)国内公司国外公司1制绒清洗制绒清洗设备制绒以降低反射率2000捷佳伟创、上海思恩、张家港超声上海釜川、北方华创2扩散扩散炉形成PN结,产生发射极4000捷佳伟创、丰盛装备、红太阳(48所)、北方华创Tempress(荷兰)、CT(德国)3刻蚀刻蚀设备边缘刻蚀,避免短路2000捷佳伟创、苏州聚晶Schmid(德国)、Rena(德国)4正面镀膜PECVD正面镀氮化硅钝化,提高开路电压4000捷佳伟创、丰盛装备、红太阳(48所)、北方华创Roth&RauAG(德国,梅耶博格收购)、Tempress(荷兰)、CT(德国)5背面镀膜1、ALD+PECVD背面镀氧化铝及氮化硅,进一步钝化,提高开路电压。5000捷佳伟创、东莞讯立、理想能源、微导SolayTec(美国)2、管式PECVD二合一4000捷佳伟创CT(德国)6背面开槽激光开槽设备激光开槽,打通电极1000帝尔激光、迈为股份罗芬、innolas、3d-micromac7丝印丝网印刷机印制正负电极7000迈为股份、科隆威、捷佳伟创(即将推出)AppliedMaterials(美国)ini8烧结烧结炉形成欧姆接触9分选自动分选机电池片分档合计25000(ALD+PECVD)24000(管式PECVD二合一)
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