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SEM操作规程

上传者:梦溪 |  格式:doc  |  页数:8 |  大小:1398KB

文档介绍
状态!3)在仪器状态区域将BEI勾选,BEIdetector自动伸入样品室。4)点击ON,打开高压,根据样品选择所需的电压。5)找好要分析的样品位置,调整好倍率,聚焦及像散。6)在图像显示区域选择图像信号为BEC7)按Fineview2获取图像,按下PHOTO键获取最终图像,选择“Save”模式进行保存。。8)使用完成后,先关闭高压,再将BEI打勾取消(即表示BEIdetector退回)。14、结束观察:1)将放大倍率调至最低倍。2)点击OFF,关闭高压,确认高压处于关闭状态!2)点击软件中Specimen窗口的ExchangePosition按钮,EXCHPOSN灯同步亮,样品台复位,处于样品交换的初始位置。3)利用样品交换杆将样品Holder拉出样品交换室。4)按下VENT键放气,直至VENT常亮。5)打开样品交换室,按箭头方向取出样品Holder及样品,并检查样品交换室是否正常。6)关闭样品交换室并按EVAC抽真空,待EVAC灯不再闪动后,观察结束。注意事项1、接触样品座,取放样品时务必戴手套操作,并确保样品在样品台上固定牢固;样品柱高度最好不要超过样品座上方10mm。样品高出样品台时,不要将Z值输入过小,造成镜头碰撞样品台。2、注意:在拉动样品杆时,若有警报声,应立即停止操作,将样品杆归位,检查操作步骤是否正确。3、拉出拉杆时,切记一定要将拉杆完全拉出后才可以立起,否则样品杆会弯折变形。4、实验完成后只需关闭计算机显示器,其他任何页面及装置不予关闭。样品操作按钮介绍Specimenexchangechamber(样品交换室)控制面板VENT:Exchangechamber放气按钮EVAC:Exchangechamber抽真空按钮EXCHPOSN:显示样品台是否处于样品交换位置(灯亮表示处于该处)HLDR:显示样品holder是否固定在样品载台上(灯亮表示已固定于该处

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