向阳极迁移电子与气体原子碰撞使其离化磁场中电子形成霍耳电流产生电场Р离子被霍耳电场加速引出、加速Р阴极热电子对引出离子中和形成等离子体。Р霍耳离子源工作原理Р(Hall Ion Source)Р离子源简介- 霍耳离子源特点Р优点:РPowerIon-CР-10A 典型参数Р离子束流:5 AР离子能量:20-50 eVР无栅极、结构简单、维护简单Р适用反应气体离子束辅助主流产品离子束流大易于控制等离子体中性以低能大束流工作Р缺点:Р×能量较低、调节范围较小×存在较小污染Р离子源简介-Veeco 霍耳离子源技术指标Р离子源简介-РPowerIon 系列霍耳离子源技术指标Р离子源简介- 霍耳离子源Р空心阴极型霍耳离子源Р空心阴极替代灯丝发射热电子有效降低离子源污染Р离子源简介- APS源工作原理Р工作原理与霍耳离子源类似РLa6B阴极发射热电子向阳极迁移(3)Р电子与原子碰撞使其离化磁场中电子形成霍耳电流产生电场(2)Р离子被霍耳电流产生电场加速引出、加速Р离子源简介- APS源特点Р优点:РAPS源典型参数Р离子束流:0.5 mA/cm2Р离子能量:20-200eVР无栅极Р离子束流大以低能大束流工作以其为核心开发多种机型离子束辅助主流产品Р缺点:Р×能量较低、调节范围较小×不适用反应气体×等离子体中性?Р×使用成本高×存在污染Р射频rf离子源工作原理:Р射频放电将气体电离在放电室形成等离子体Р多孔栅极产生加速电场离子被加速电场引出、加速、获得能量Р中和钨丝产生电子中和电子对引出离子中和形成等离子体Р优点:Р栅极加速能量大离子可聚束能量调节范围宽Р适用反应气体离子束辅助效果明显Р缺点Р结构复杂价格昂贵栅极需经常维护辐照均匀区较小Р5、离子源价格:Р适合1m1镀膜机辅助镀膜的离子源价格Р考夫曼离子源 16cm 8万Р霍尔离子源 H10(16cm) 5万-6万РRF离子源 160万
全文预览
