统一经调整完毕,一定不能触碰它,否则晶体直径会偏细,可能导致其无法剖方而报废。要求不间断目测晶体直径。Р九放肩Р 控制液面温度,严禁过快降温,否则在没有人观察的时候可能结晶使液面粘住导流筒;放肩角度控制在150度为佳。Р十转肩Р 禁止将拉速从放肩拉速0.3---0.5mm/min一步改成转肩拉速,应该分步逐渐往上加拉速,否则晶棒很容易断棱。Р十一等径Р1注意液面间距,防止埚升太快而淹没导流筒。Р2禁止长时间不观察等径状态下的单晶炉,以免发生断棱后不知道,等发现时多晶已经拉了很长;晶体扭曲不知道;直径失控不知道,使其直径不断变大从而超过导流筒的内径;掉棒不知道。Р3当快收尾时,应注意液面间距,适当加快埚升速度,保持间距平衡,否则间距会越来越远,影响收尾效果,直径可能变细。Р十二收尾Р收尾一定不能离人。收尾以慢收尾为主,控制好拉速和温度,禁止收断现象发生。当坩埚余料不多时应密切注意液面情况,防止结晶粘住晶体。Р十三煅烧Р 煅烧过程应密切观看炉内情况,有无异常;观看电流表指针情况;分阶段的用手感觉炉体表面的温度和出水管温度,以防冷却水内杂质堵住水管时炉体温度升高(尤其是紫铜电极处冷却水管)。Р十四回熔与吊渣Р 1当晶体长度没有达到加工要求而断棱时,应作回熔处理。当我们在退出自动后,一定要下降坩埚使晶体或籽晶与硅液面脱离,严禁上升籽晶使二者脱离(因为二者脱离时液面晃动很严重,升籽晶而不降坩埚会使导流筒吃料)。Р 2在回熔过程中严禁将很长一段晶体完全放入熔硅中回熔,以防晶体底部接触石英坩埚使其破裂而发生漏硅事故。Р 3由于回熔过程中液面高度会上涨,应适当调整坩埚位置,以防液面接触导流筒。Р4吊渣完毕后应先将渣提升至导流筒上沿冷却5min,在上升其至副室内,关闭隔离阀上炉体充氩气至一定量时,停止充氩气,使渣再冷却几分钟,最后再充气取渣。这样做使籽晶不至于急剧降温使其产生内裂而影响拉晶。
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