轴)由不锈钢制成,由双层管组成,通流动水冷却。它通过托杆、托碗支撑石英坩埚中的多晶硅,并且通过旋转、上升和下降调节热系统中坩埚内熔硅的位置使拉晶能顺利进行。Р籽晶轴也由不锈钢制成,能够旋转、上升和下降。它的结构和坩埚轴相同,但比坩埚轴长。它主要通过籽晶卡头装卡籽晶,并且边旋转,边向上运动,完成提拉单晶过程。Р随着单晶炉大型化,降低单晶高的降低,提拉行程的增长,近些年出现了以钢丝或铰链做籽晶轴的软轴,这是直拉单晶炉的一项重大改革,使直拉单晶炉结构简单,操作简便,高度降低,籽晶轴行程增长,使直拉单晶炉生产效率大大提高。Р光学等直径监测器装在炉膛的光学等直径监测孔上,它象照象机,一组光学镜头对准坩埚中心,硅单晶通过镜头将硅单晶横断面直径的正生影象反射在毛玻璃屏幕上,屏幕上有一个光敏二极管,影象变化作用在光敏二极管上,产生电信号,经过放大分压(或分流)处理,控制提拉或加热功率,保证硅单晶等径生长,通过调节光敏二极管位置可以控制生长硅单晶的粗细。Р观察窗装在直拉单晶炉膛上,由两层石英玻璃(或厚玻璃)组成,两层玻璃中间通水,它是观察拉硅单晶过程中各种情况的窗口。Р热电偶装在直拉单晶炉膛的测温孔上,正对加热器中部。为了使便于测量和测量灵敏准确,一般通过聚光镜,将光聚集于热电偶堆上[7]。Р电极装在炉膛底部,它的作用是支撑加热器(石墨)和保温系统(或通过石墨电极支撑),把强大的电流传给加热器,使加热器产生高温,熔化多晶硅。电极一般由紫铜制成,两层铜管成环状,内部通水。Р单晶炉的机械传动部分,包括籽晶轴(上轴)、坩埚轴和驱动它们上升、下降或旋转的电机。籽晶轴和坩埚轴的旋转由力矩电机(或直流电机)分别经过皮带(或齿轮)变速后带动抱轮使其旋转。籽晶轴和坩埚轴的上升或下降通过通过两个力矩电机(或直流电机)驱动螺纹旋转完成。这四个运动各自独立,互不干扰,不同的是坩埚轴比籽晶轴有更缓慢上升或下降速度。
全文预览