温度特性好,但其灵敏度小;而半导体应变片应变灵敏度大;体积小;能制成具有一定应变电阻的元件,但它的缺点是温度稳定性和可重复性不如金属应变片。Р它的应用实例如桥梁固有频率测量、电子称、桶式测力传感器等。Р电子称Р2.2电容式传感器Р把被测的机械量,如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是Р由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,若不考虑边缘效应,其电容量为当被测参数变化使得上式中的A、d 或发生变化时,电容量C也随之变化。若保持其中两个参数不变,而仅改变其中一个参数,就可把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电量输出。Р电容式传感器的等效电路如图:Р电容式传感器的测量电路同样为电桥电路,如下图:Р电容式传感器的温度稳定性好,结构简单,动态响应好,可进行非接触测量,然而,输入阻抗高,负载能力差[4]。电容式传感器精度可达0.01%。Р其运用实例有电容传声器、转速测量、电容测厚仪、电容式油量表等。Р2.3 电感式传感器Р电感式传感器是利用电磁感应把被测的物理量如位移,压力,流量,振动等转换成线圈的自感系数和互感系数的变化,再由电路转换为电压或电流的变化量输出,实现非电量到电量的转换。Р电感式传感器具有以下特点: Р(1)结构简单,传感器无活动电触点,因此工作可靠寿命长。Р(2)灵敏度和分辨力高,能测出0.01微米的位移变化。传感器的输出信号强,电压灵敏度一般每毫米的位移可达数百毫伏的输出。Р(3)线性度和重复性都比较好,在一定位移范围(几十微米至数毫米)内,传感器非线性误差可达0.05%~0.1%。同时,这种传感器能实现信息的远距离传输、记录、显示和控制,它在工业自动控制系统中广泛被采用。但不足的是,它有频率响应较低,不宜快速动态测控等缺点。Р电感式传感器种类很多,常见的有自感式,互感式和涡流式三种。
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