lm是摄取图像的线性距离,单位mm;Рγ是放大倍数(见8.4)。Р10 测量误差Р设备的操作和校准应能够保证覆盖层厚度测定误差小于10%或0.1μm(选取其中大者,参见A.3.7).Р11 测量结果表示Р测量结果用μm标示,精确到0.01μm;如果厚度大于1μm,保留三位数字。Р注——此要求用于减少由于计算处理而带来的误差。Р12 检测报告Р检测报告应包含以下内容:Рa)检测依据的标准;Рb)厚度测定值;Рc)检测样品的标号;Рd)样品检测的部位;Рe)检测时的放大倍数;Рf)影响检测结果的因素;Рg)检测的日期;Рh)检测人员的姓名;Рi)测定图像类型:传统显微图像(如二次电子显微图像、背散射电子像、吸收电子像、透射电子像)或X射线像和背散射电子像的组成像。Р附录AР(提示性附录)Р横截面制备和检测指南РA.0 引言Р金属覆盖层横截面的制备和厚度测量取决于个人技术,并且有多种实用的技术,规定采用一种制样和测量技术是不恰当的。本附录中所提供的技术仅供参考。РA.1 镶嵌Р为了防止在覆盖层横截面产生倒角,可在覆盖层表面层叠一种与覆盖层相近的金属支撑覆盖层表面,覆盖层与支撑金属层之间应无空袭。层叠层的厚度至少10μm,硬度与覆盖层接近,层叠层的电信号应与覆盖层不同。Р镶嵌材料的表面必须是导电,以防止电荷在覆盖层聚集。Р在制备很软的金属试样时,研磨过程中研磨膏砂粒容易被嵌人试样表面。在研磨过程中将砂纸全部浸入润滑剂或采用大量流动的润滑剂可以使嵌入量最小化;如果磨粒已被嵌入,在研磨后和金刚砂精抛前,采用短时间的轻微手工抛光或进行几次浸蚀、抛光交替循环处理可清嵌入磨粒。РA.2 研磨或抛光РA.2.1 保持镶嵌的横截面与覆盖层垂直是厚度测量的关键。镶嵌时在塑料外边缘处另夹持几片金属片,定期改变研磨方向(旋转900),保持研磨时间、压力最小,都有利于保持横断面的垂直。研磨前,如果在镶嵌
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