通大学、中北大学、哈尔滨电子49所、石家庄电子13所、航天704所、重庆电子26所、重庆电子24所、西安航空618所、西安航天771所、中科院上海微系统所、绵阳中国工物院。Р清华大学、北京大学、西北工业大学、东南大学、南京理工大学、北京信息工程大学、长沙国防科技大学、上海交通大学、重庆电子26所、航天704所。Р过去三年,全球MEMS惯性传感器的发展趋势正向两级化发展,一方面消费电子类应用、应用领域不断拓展、需求迅速提高,引来制造商不断增加,竞争加剧,单价不断下降;另一方面,军用级应用,精度不断提高,单价上升很快。РMEMS惯性传感器的发展现状是消费类产品向大规模生产发展、单价越来越低,量产后,仅售不足一美元,而军用与宇航级产品向高精度发展,一个单轴陀螺售价可在3~4千美元。而工业级、汽车级产品更追求高品质和高可靠性,同时兼顾售价。Р3 展望Р展望未来,MEMS惯性传感器的发展趋势主要有以下几个方面:Р技术方面:精度将不断提高,以陀螺为例,有替代低精度光纤陀螺的趋势。对消费类应用,更寻求进一步简化制造工艺,降低成本的趋势。同时,集成化也是未来发展的趋势,不仅模块制造商走软件、硬件集成的路子,越来越多的上游芯片厂家也走集成块的技术路线。因而不断有双轴、三轴加计、陀螺芯片问世。Р竞争力方面:消费类将竞争最为惨烈,新厂家将不断涌进,比投资、比规模将是必然趋势。上下游相互倾轧、收购、重组将会上演。Р合作方面:由于产品细分的缘故全球竞争与合作必然结果。上游厂家希望找到下游客户,下游希望寻找合适的供应商,因而产业联盟可能出现。Р应用方面:无疑无论是消费类应用,工业级军工级应用,市场会急骤扩大,应用会越来越广泛。Р参考文献Р[1]?霍鹏飞,范伟政. 基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真Р[2]?郝伯特H,伍德逊,詹姆士R机电动力学北京机械工业出版社Р[3]?Р[4]?Р[5]?Р[6]
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