的1/3,有着明显的成本优势。由于该型号机台梅耶博格原厂已经停产多年,厂家也不再提供技术支持,需要设备人员的技术能力相对较高。梅耶博格生产的MB265(多晶硅)机型在国内数量在80台左右,除小部分报废外,目前还有大约60台经过改造后用于蓝宝石衬底片切片。Р (2)改造后的MB265机台对设备维保人员要求较高,其固定、活动轴承箱在实际使用过程中损耗较大,维修、保养间歇在3个月左右。(注:由于MB265机型最初是用来切割硅片的,其切割原理与蓝宝石材料切割原理存在很大差异,导致设备维修、保养异常频繁)目前需要经常更换的部件主要是:球形面、碗形面以及驱动块等。Р (3)梅耶博格MB265机型采用的是工件摇摆,在实际切割过程中,负载都作用在摇摆的弧形导轨机构上,导致弧形导轨机构磨损严重,更换频繁。这个现象在4英寸衬底片切割的过程中更加明显。Р 3 无锡上机Р 无锡上机是国内近几年才起步的多线切片设备厂家,其技术人员主要来自梅耶博格国内负责技术支持的工程师。上机的设备很多地方都是借鉴了梅耶博格设备设计思路。其开发起步不如高鸟、梅耶博格,但是起点相对较高,无锡上机只开发了高速机型。无锡上机机型的主要优、劣势如下: Р (1)借鉴了高鸟机台小直径槽轮的优势,其槽轮直径控制在180mm;同时,其槽轮结构采用与梅耶博格MB265类似的结构,避免了每次更换槽轮拆卸前支撑的问题。槽轮拆卸、安装过程比较简便,同时引入了液压拆卸工具,保证固定槽轮的丝杆上的拉力,很好的控制了槽轮的轴向窜动。Р (2)整机采用线网摇摆模式,保证了切割过程的平滑过渡。(以切4英寸衬底片为例)在同等切割条件下,其切片后衬底片线切痕返工率与高鸟机台持平。Р (3)无锡上机机台的主要缺点在于其配套的轴承箱组件质量不稳定,个别轴承箱组件的运行寿命偏低。大部分的轴承箱维修保养周期在4000小时左右。这点必然会造成后期的运行成本升高。
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