在被测表面不同位置上显示出几种颜色的干涉条纹, 由于各色光线混杂, 干涉条纹的亮度和清晰度大为减弱, 所以图象不够清晰, 使用单一光源, 具有单一的波长, 图象明暗相间的亮带和暗带非常的清晰, 可以看清较多的干涉带,读数比较准确,单色光需要单色光源, 如, 钠光灯; 也可通过自然光通过过滤色镜得到。下面就是自制的平面检测仪。图 7-2 为平晶检测仪。... ... 图7-2 检查密封端面平度的平晶检测仪检验密封平面时首先将被测平面紧贴于平晶,两个表面都必须擦静, 使两表面形成一层极薄的空气膜, 单色光源通过空气膜, 就会产生明暗相间的干涉条纹。如果用白光(自然光)作为光源,则显示出几种颜色的干涉条纹。检测时, 应用彩色中最清楚的条纹来读数。白光可以随时取得, 不需要附属装置。 207 、干涉条纹的识别及读数? ①图7-3 所示的干涩条纹为直带,它是用光学平晶在钠光灯下检测到的。直带图像表明被测的平面度非常高,接近于理想平面,平面度偏差小于 0.029um 平晶钠光灯光源密封环... ... 图7-3 通过平晶检测到的图像②同心园干涉条纹。干涉条纹呈同心圆状, 这表明被测的表面有微小的曲率。图 7-4 是用光学平晶在钠光灯下检测到的同心园干涉条纹。图7-4 是接近同心园的图像③如7-5 图中所示, 1、2、3、4、5 是合格的干涉带 6、7、8、9 、是不合格的干涉带... ... 图7-5 是各种干涉带示意图判断被测表面不是中凹就是中凸, 可用手指在平晶边缘轻轻的压, 光干涉条纹向外周移为中凸, 反之为中凹。前者称为光圈高,后者成为光圈底。在实际测量时,只要是密封环上的干涉条纹非常有规律,没有突变都可以使用。④端面不平图7-6 在钠光灯下用平晶检测密封面, 平面度误差为 2. 7um 。密封面这种局部平面度误差是由于研磨抛光不良所引起的。在这种情况下, 密封的泄漏较严重。
全文预览
