15 、谈判地点和时间(1)谈判时间: 2012 年10月10日下午 13时30分。(2)谈判地点:浙江大学紫金港校区东四 156 室。????????????????-------- ?????? 8 ??????????????标项一:多功能硅片热处理炉一台主要参数与技术要求: 1炉膛有效内径: Φ 180mm 2温度控制范围: 400~1250 ?; 3恒温区长度及精度: ≤± 1?/400mm (800~1250 ?) 4单点温度稳定性: ≤± 2?/12h ( 1100 ?时); 5温度斜变能力: 最大升温速率: 20?/min 最大降温速率: 5?/min 6具有超温、断偶、断水等报警和保护功能; 7净化工作台净化级别: 1000 级(环境 10000 级); 8送片方式: 采用 SiC 悬臂桨自动送片机构,速度 20~ 500mm/min. 可调; 定位精度: ≤± 2mm , SiC 桨承载区最大载片承重:12Kg ; 9气体流量控制方式:浮子流量计,需要手动设置流量; 10工艺控制方式:半自动控制,工控机单管单控,在触摸屏上操作(流量需要手动设置);通过监控程序,用户可针对特定工艺编辑保存一条工艺曲线,工艺曲线包括工艺名称、时间、气体开关、推舟状态等,用户可通过监控程序运行相应的工艺曲线进而实现工艺的自动控制(流量需要额外手动修改)。 11设备峰值功率:≤ 40KVA (2管) 保温功率≤ 15KVA ; 12. 上管: SiC 管,下管:石英管(用户自配) 13. 温控系统采用进口温控仪分三段对炉丝进行独立控制, 可精确控制各段炉丝的温度,控温精度≤1? 14. 采用精密导轨丝杆副作传动机构以及带细分步进电机驱动器系统作驱动推舟,用户可根据需要将速度设置在 20~ 500mm/min 的范围内,推舟定位精度≤± 2mm 。 SiC 悬臂桨承重≤ 12Kg
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