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各种真空泵简介

上传者:似水流年 |  格式:ppt  |  页数:53 |  大小:681KB

文档介绍
分为:粗真空、高真空、超高真空三大类。粗真空:760~10托;低真空:10~10-3托;高真空:10-3~10-8托;超高真空:10-8~10-12托,极高真空:10-12托以下(1标准大气压=760托,1托=133Pa)真空泵分类按其工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型。气体输送泵使气体不断的吸入和排出,以达到抽气目的。气体捕集泵使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小容器内的气体分子数目,达到抽气目的。气体捕集泵1、吸附泵? 主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气。? 2、吸气剂泵? 利用吸气剂以化学结合方式捕获气体。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。气体捕集泵有以下几种型式:气体捕集泵3、吸气剂离子泵? 使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式:? (1)蒸发离子泵:吸气材料以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁,吸附泵内被电离的气体,以实现抽气。? (2)溅射离子泵:吸气材料由阴极连续溅射散出来,吸附泵内被电离的气体,以实现抽气。4、低温泵? 利用低温表面捕集气体的真空泵。气体输送泵1、旋片式真空泵3、往复式真空泵5、滑阀式真空泵7、干式真空泵9、分子真空泵11、复合式真空泵13、气体喷射泵15、扩散泵等。2、水环式真空泵4、定片式真空泵6、余摆线真空泵8、罗茨真空泵10、牵引分子泵12、水喷射真空泵14、蒸汽喷射泵真空泵油极低的蒸气压这是真空泵油的最重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蜡基窄馏分润滑油,对于扩散真空泵,还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。合适的粘度和良好的粘温特性真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。真空泵油作为获得真空的介质,还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。对于真空泵油,有如下要求:

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