镜物平面移到物镜后焦面,便可在荧光屏上看到像变换成衍射谱的过程。РTEM成像原理和电子衍射的获得Р电子显微图象Р电子衍射花样Р物Р物镜Р(焦平面)Р衍射谱Р(物镜光阑)Р一次像Р中间镜Р二次像Р三次像Р(视场光阑)Р投影镜Р7Р显微像和选区电子衍射花样РTEM一大优点是可以获得对应的显微图象和选区电子衍射(SAED)图样。在200kv的加速电压下,改变选区光阑的直径,可以得到尺寸小到0.1微米样品的TEM像和SAED图样。Р(a)、(b)是选区光阑直径为1.0微米时得到的碳化硅多晶样品的TEM像和同心圆环组成的选区电子衍射(SAED)图样。(c)、(d)是选区光阑直径为0.1微米时碳化硅单晶颗粒(即(a)中用A标记的颗粒)样品的TEM像和二维点阵组成的选区电子衍射图样,图样中的平行细条纹来自薄片状孪晶。仔细观察可见,(b)中电子衍射图样包含(d)中的单晶电子衍射图样。Р(a) (b) (c) (d)Р8Р电子衍射几何的基本公式Р晶体对电子衍射的布拉格(Bragg)定律РL:相机长度?λ:电子波长(Lλ: 相机常数)?R:衍射斑距透射斑长度?d: 衍射斑对应的晶面间距Р9Р电子衍射谱的标定Р电子衍射谱的标定是确定材料显微结构的重要步骤。一般地,这一过程应遵循如下原则:Р二维倒易平面中的任意倒易矢量 g 均垂直于晶带轴[uvw]方向(电子束反方向)Р若已知两倒易矢量 g1,g2,则晶带轴方向为РMiller指数的符号应满足右手螺旋法则,该法则决定了两基本矢量与晶带轴之间的关系。Р两个基本矢量的线性组合,一定能标出属于相同Laue区的所有衍射斑点的指数。Р10Р多晶电子衍射谱标定Р多晶电子衍射谱由一系列同心圆环组成,每个环对应一组晶面。Р根据 d = Ll/R,可求得各衍射环对应的晶面间距d。Р 与JCPDF卡(多晶粉末衍射卡)中的d值对照比较便可标定每个衍射环的指数(hkl)。
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