技术Р半导体式气敏传感器Р电阻式Р烧结型Р薄膜型Р厚膜型Р二极管气敏传感器РMOS二极管气敏传感器РPd—MOSFET气敏传感器Р非电阻式Р半导体式气敏传感器的分类Р分类Р自动检测技术Р一、气敏传感器的结构Р制作气敏电阻的材料主要有二氧化锡(SnO2)等金属氧化物半导体,取材和掺杂不同决定了气敏电阻的类型,常用的气敏电阻有P型、N型两种。如用SnO2、ZnO、MnO2、Fe2O3等材料制成的气敏电阻属于N型,用MoO2、NiO、CoO等材料制成的气敏电阻属于P型。? 气敏传感器通常由气敏元件,加热器和封装体三部分组成。气敏元件从制造工艺可分为烧结型、薄膜型和厚膜型三种。常见的气敏传感器大都采用烧结型管芯结构。Р它们的典型结构如图3-1所示。Р(a)烧结型气敏元件;(b)薄膜型气敏元件;(c)厚膜型气敏元件Р加热器的作用是加速被测气体的吸附和脱出过程烧去气敏元件表面的油垢或污物,起清洁作用;提高灵敏度和响应速度;控制不同的加热温度,对不同被测气体有不同的选择性作用,加热温度一般控制在100~4000CР由于加热方式一般有直热式和旁热式两种,因而形成了直热式和旁热式气敏元件。直热式气敏元件的结构及符号如图3-2所示。Р ? 这类器件制造工艺简单、成本低、功耗小,可以在高电压回路下使用,但热容量小,易受环境气流的影响,测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响。Р旁热式气敏元件的结构及符号如图3-2c、d所示,它的特点是将加热丝放置在一个陶瓷管内,管外涂梳状金电极作测量极,在金电极外涂上SnO2等材料。旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点,使测量极和加热极分离,而且加热丝不与气敏材料接触,避免了测量回路和加热回路的相互影响,元件热容量大,降低了环境温度对元件加热温度的影响,所以这类结构的元件稳定性、可靠性都较直热式元件好.Р气敏电阻外形Р烟雾报警器Р酒精传感器Р二氧化碳传感器
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