空气净化及防静电知识.ppt

p:// TFT-LCD TFT-LCD 设计及制作( 设计及制作( 1 1) ) ■净化知识■防静电知识资料整理: 风淋室风淋室厂家净化设备 p://p://■■净化知识净化知识■■防静电知识防静电知识 p:// Clean room Clean room ( (净化间、无尘间、净房) 净化间、无尘间、净房) p:// Cleanroom Cleanroom p://间等级净化间等级??无尘等级数值越小,净化等级越高。其无尘等级数值越小,净化等级越高。其数值代表尘埃浓度,亦称为数值代表尘埃浓度,亦称为洁净度洁净度,是,是用单位体积(每立方英尺或者每升)空用单位体积(每立方英尺或者每升)空气中所含的粒径大于等于气中所含的粒径大于等于 0.5 0.5 μμm m的尘埃的尘埃数量来衡量。亦有数量来衡量。亦有 0.35 0.35 μμm m为粒经的标为粒经的标准无尘室。准无尘室。 p:// p://间等级净化间等级??通常无尘室对温度要求在通常无尘室对温度要求在 22 22 ± ±3 3℃℃( ( 21 21 ± ±2 2℃℃) ),湿度要求在,湿度要求在 55 55 ± ± 5RH% 5RH% ( ( 60 60 ± ± 10RH% 10RH% )。)。??同时洁净室内的空气压力要比相邻非洁同时洁净室内的空气压力要比相邻非洁净室高净室高 25Pa 25Pa ,洁净度较高的室内压力比,洁净度较高的室内压力比洁净度低的室内压力约高洁净度低的室内压力约高 10~15Pa 10~15Pa 。。???? 100 100 级以下的无尘室一般为底回风, 级以下的无尘室一般为底回风, 1000 1000 级以上为侧回风级以上为侧回风 p://净化间一般净化间 p://净化间百级净化间 p://化间用品净化间用品