电信号进行放大,然后进行信号处理,最后通过控制机构。光通量测量法第8章外形尺寸检测二、模拟变换检测法从光源发出的光束经样板和被测圆环之间的空隙而射到光电器件上,空隙的大小由被测圆环的尺寸所决定。射到光电器件上的光通量的大小会随着被测圆环尺寸而改变,因而改变了光电流的强度,人们通过光电流大小便可确定圆环尺寸和误差大小。活塞环检测原理 1—被测圆环 2—样板 3—光源 4—光学透镜 5—齿形调制盘 6—光电器件第8章外形尺寸检测二、模拟变换检测法变化,将光电流进行放大等电路处理,不仅能测量值的大小,而且能判断出误差是正差还是负差,经分选后分出成品和废品。多狭缝检测原理格栅向上移动时通光面积增大,向下移动通光面积减小,光电器件输出的光电流也随之第8章外形尺寸检测三、光电扫描检测法 1、光学扫描法激光扫描检测系统原理图第8章外形尺寸检测三、光电扫描检测法信号检出和计数过程 D vT ? j j 2πn?? g j 2 ? ?? j4π v n f ? j4π D n fT ? 00n T nT f ? ? j04π n f D n f ? 0 j / N f n ? 4π D f n n ? 4πf D n N ?第8章外形尺寸检测三、光电扫描检测法位移误差分析图影响测量精度的因素?量化误差?旋转棱镜 8面体的几何形状误差?工件在移动过程中进行检测时带来的位移误差?扫描轴线与工件轴线不垂直误差?随机误差扫描面与工件轴线不垂直误差 cos (1 cos ) d d d d ? ?? ???? I 0 A ( ) v D D f x v ?? ?扫第8章外形尺寸检测三、光电扫描检测法 2、电扫描法?真空摄像管检测法摄像管检测装置的示意图
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