电子显微镜及其附属设备的结构、基本原理、用途及其使用方法第一部分透射式电子显微镜 1. 透射式电子显微镜外形及其基本结构组成:电子光学系统; 高压系统;数据采集系统;电子控制系统;真空系统等五大部分。电子光学系统?电子枪、电子束?加速线圈、透镜?系统、物镜系统、?成像系统、消像?散系统、电子对?中系统等真空系统?真空系统的组成:机械泵、扩散泵、离子泵、真空管道、循环水系统等电子枪镜筒照相室 DP IP RP 数据采集系统?数据采集系统包括: CCD 数据采集系统、 PHOTO 采集系统; 高压及其电源系统?高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发射枪、电源等。电子控制系统?电源控制系统、电子束调整系统、电子光路调整系统、电子成像控制系统、真空控制系统、模式选择系统等。 2. 透射电子显微镜的基本工作原理电子光学系统的工作原理 LaB6 灯丝在高电压的作用下,产生一束高能电子束。经过透镜、物镜、消像散等系统的调整,形成一束近似平行光的电子束, 作用于试样。电子束与试样将发生各种各样的作用。主要形成透过电子、弹性散射电子、非弹性散射电子
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