的离子泵;利用物理或化学吸附作用的吸附泵、吸气剂泵、低温冷凝泵等。在这类泵中气体分子并不排出泵外,而是被暂时或永久的贮存于泵内。也称为俘获型真空泵。真空泵具有以下几个基本参数:抽气速率、极限压强、最大工作压强、使用范围等。2.1.3真空测量真空的测量即测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度(即真空度)的技术。真空度的高低通常用气体的压强来表示,气体压强越低,真空度就越高。由于真空技术中的气体压强都很低,直接测量它们的压力效应极不容易,因此,测量真空度的办法通常都是先在气体中引起一定的物理现象,然后测量这个过程中与气体压强有关的某些物理量,再设法确定出真实压强来。例如,可先将气体压缩,让其压强升高,测出升高后的压强,再设法计算出原来的压强,这就是所谓的压缩真空计。也可利用一根热的导丝,测量气体导热造成的某些效应,如热丝温度的变化等,从而就构成一类气体热传导真空计。还可利用电子碰撞气体分子,使其电离,然后测量所得的离子流,这就是电离式的各种真空计。任何具体物理现象与压强的依赖关系,都是在某个压强范围内才最显著,超出这个范围关系就会变得微弱。因此,任何方法都有一定的测量范围,这个范围就是所谓的真空计的量程。2.1.4真空检漏一个理想的真空容器,当达到真空状态(某低压强)后,与对其工作地真空泵隔离,该容器内的真空度不应改变。而一个真实的真空容器内,则压强会上升,这是由于器壁表面出气、渗透和漏气等因素造成的。检漏的目的是:(1)确定真空系统或零部件是否存在漏气;(2)找出漏孔位置以便修补。当漏孔两端存在压强差时,就有气体的流动。利用气体流动引起的种种效果,就能设法探查出漏孔的存在。现代真空检漏的主要方式是使用示漏气体与探测器。因为探测器是针对特定气体设置的,故可以做得很灵敏。例如,金属铂丝的正离子发射现象会因遇到的卤素气体而剧烈增长,就可利用卤素作为示漏气体,用铂丝做离子发射极,另加6
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