里温度和膜厚的关系也在文献[5-6]中做了研究。Saegusa等”1报告了PbTi03薄膜的临界尺寸小于50nm,Temuchi等”11研究了BaTi03薄膜在不同衬底上的临界尺寸,发现最小的临界尺寸只有10nm左右。Shaw等“o。研究了生长在Si衬底上的钛酸锶钡((Ba,Sr)Ti03)薄膜,发现薄膜有平面内的扩张应力,扩张应力通过电致伸缩效应改变了厚度方向的电容。通过测量不同扩张应力下的电容,发现自由电容比有残余应力的电容高23%。Wontane等5。1分别在[100I方向上的氧化镁(MgO)衬底和铝酸镧(LaAl03)衬底上生长了单相(Bao5Sro5)Ti03薄膜,并测得沉积在氧化镁衬底上的膜的介电常数随电场的增大而减小,而沉积在铝酸镧衬底上的膜的介电常数随电场的增大而增大,这两种不同的介电特性是由于薄膜在两种衬底上的不同应力影响了离子的极化程度。Kumazawa等o“研究了锆钛酸铅(PZT)薄膜在外部应力下的极化强度变化,扩张应力减小剩余极化和自发极化,压缩应力增大剩余极化,但不改变自发极化。用溶胶一凝胶法制各的PbTi03薄膜,由于结晶的不完善,会在晶粒中引起微观应力,微观应力随晶化温度的升高先减小再增大,在675。C时有最在相变理论工作方面,郎道唯象理论是最为常用的方法之一“4“?。Tilley和Zeks““从自由能出发,研究了铁电薄膜中的二级相变,用椭圆函数给出了临界温度的确切表达式和极化强度在膜内的分布。Scott等“51将上述工作推广到一级相变,得到的主要结果和二级相变相似,不过当表面极化强度大于内部时,在一定条件下会发生表面相变。用同样的方法对铁电颗粒的相变性质也做了研究,计算出BaTi03薄膜的临界尺寸约为44rim““,与后来Schlag和Sakabe等通过拉曼散射和二次谐波发生所得到的临界尺寸49nm符合得很好”。?。双层铁电超晶格的软模和静态
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