时 , 耐压 收 集器 中的 压 力是 大 气 压 , 分 析 气 体 的 成\r份 为 、 。 , 在 带 有 窗板 的 毫 米长 的气 体 元 件 , 导 入 该 气 约 一大 气\r压 , 测 定 红 外 吸 收 光 谱 , 求得 。 为 ‘ 一 ’和 ‘ 为 ‘ 一 ‘ , 吸 收 比 为 。\r朱 心 才译 自 日本 公 开 特许 公 报 昭 一 , , 韩 美 校\r硅烷 系废气 的高效处理方法\r齐藤 纯 等\r将 从 半导体 制造 设 备 排 出 的 含有 硅 烷 系 气 体 的废 气 通 过 以 固 体金 属 氧 化物为 主 要 成分\r的 填 料 层 , 高效 率 地 除去 该 硅烷 系气 体 , 至 少 使浓度 降低到 以 下 。\r本 发 明 涉 及 的 是 硅 烷系 废 气 的 高效 处理 方 法 。 更 具体 地 说 , 木 发 明是 利 用半导 体 制造 用\r硅 烷 系 废气 , 通 过 与金 属 氧 化 物 填 料 层 接触 的 高 效废气 处理 方 法 。\r© 1994-2008 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. http://www.cnki.net
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