的正方体,\r其偏转系统的底面与晶圆所在水平面平行,间距也为L,当偏转系统不加电场及磁场时,离子恰好竖直注入到晶圆上的0点(即\r图中坐标原点,x轴垂直纸面向外)。整个系统置于真空中,不计离子重力,打在晶圆上的离子经过电场和磁场偏转的角度都很\r小。当a很小时,有sina《tana«=a,cosa求:\r0页\r(D离子通过速度选择器后的速度大小V和磁分析器选择出来离子的比荷;\r(2)偏转系统仅加电场时离子注入晶圆的位置,用坐标(x,y)表示;\r(3)偏转系统仅加磁场时离子注入晶圆的位置,用坐标(x,y)表示;\r(4)偏转系统同时加上电场和磁场时离子注入晶圆的位置,用坐标(x,y)表示,并说明理由。\r2\r八~4,、E2E,..3L\r答案(1)S⑵气荷?°)\r(3)(0,名-)(4)见解析\r勺十/<2\r解析(1)通过速度选择器离子应满足\rqE=qvB,\r由此可得离子的速度\rE\r从磁分析器中心孔X射出离子的运动半径为\r%+/?2\r2\r.mv八\r由蓝"二qvB\r得且二工二_2E\rmRB(/?1+/?2)戌\r(2)经过电场后,离子在x方向偏转的距离\rX铲(不\r2m\vJ\r速度偏转角满足\rtan\r离开电场后,离子在X方向偏移的距离\r0页\r位置坐标为\r3£2\r(即①\r(3)离子进入磁场后做圆周运动的半径\rmv\r速度偏转角满足\r经过磁场后,离子在y方向偏转的距离\r尸\ryi=r(l-cosa)^-\r«1十”2\r离开磁场后,离子在V方向偏移的距离\r2L2\rtana\r3£2\r贝!Jy=y!+y2^——\rAJ-TA2\r位置坐标为\r(。,用\r(4)注入晶圆的位置坐标为(名言、\r),\r/<1十/<2十乂2\r电场引起的速度增量对y方向的运动不产生影响,同时磁场也不对x方向的运动产生影响。\r第10页共10页
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