扩散泵的常见故障及排除方法故障现象产生原因排除方法扩散泵不起作用1.系统漏气1.关闭泵的上部主阀检漏 2.加热器不起作用2.检查电源是否接触良好和加热器是否烧断 3.油温不足3.检查加热电压和功率是否符合规定 4.泵出口压强过高4.检查前级管道有无漏气,前级泵是否符合要求,工作是否正常 5.泵本身漏气5.检查前级管道与泵体焊接处,泵底与泵体焊接处是否漏气,应对二处细加检查极限真空度低1.系统漏气,泵本身微漏1.查漏处,消除之 2.泵芯安装不正常2.检查各级喷口位置和间隙是否正常 3.系统和泵内不清洁3.检查、清洗、烘干洗涤溶剂 4.泵油变质4.泵洗后换油 5.泵冷却不好5.检查水流量和出水温度,保持水路畅通 6.泵油不足6.加油至规定数量 7.泵过热7.降低加热功率并检查冷却水流量抽速过低1.泵油加热不足1.检查电源电压及电炉功率是否符合规定 2.泵芯安装不正确(对金属泵而言可修复)2.检查各级喷口有无倾斜及间隙是否正常返油率过大顶喷嘴螺帽松动,泵芯内结构不合理,加热功率不对消除通孔螺帽,加挡油帽改进结构,加挡油装置,重调加热功率,加暴沸挡板,泵口加冷井等.