境参数极限条件SFJ-261环境温度(℃)0~50相对湿度<80%供电电压单相~220V±10%,50Hz最大工作电流(A)5A注意?1、使用本产品前请确保仪器已可靠接地,严禁在没有接地的情况下使用本产品!如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡,本公司不承担任何责任。2、仪器附近无强磁场干扰,无剧烈震动,无腐蚀性气体;室内要有良好通风,以防氦气干扰2-3 仪器结构2-3-1 仪器外观SFJ-2612-3-2 内部结构及部件151114510136212749811编号部件名称备注1检漏口被检工件与检漏仪的接口,KF-25接口2接收器收集氦离子信号并放大3离子源产生氦离子4质谱室离子飞行的腔体5真空计接口共两只,一只用于测量检漏口真空,另外一只用于测量分子泵排气口真空值6分子泵可使质谱室达到高真空7组合阀座完成气路切换的工作8磁铁为离子旋转提供磁场9电磁阀实现气路的通或断10电气控制位置电气控制都集中在此(高压危险)11散热风扇-----12标漏漏率参照14真空泵分子泵的前级泵和预抽工件时使用15开关电源为电器部分提供电源注不同的机型可能各部件布局略有差异图片仅供参考,请以实物为准操作面板2-3-3-1261面板触摸显示屏调零开始/停止部件名称部件类型备注触摸显示屏显示操作显示设备当前的运行状态,可通过触摸方式更改参数切换显示画面开始/停止按钮开始检漏或停止检漏按钮.长按可对检漏口放入空气,以便更换工件调零按钮按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零2-3-3-2261外部接口123456编号部件类型备注1电源接口电源接口包括:开关/保险丝/电源插孔2DB9接头串行通讯接口3RJ-45接口485通讯接口4RJ-11接口吸枪控制接口5DB15接口输出控制接口6PC快速接口机械泵排气口DB9接口定义编号备注1NC2RXD3TXD4NC5GND6,7,8,9NCDB15接口定义
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