器样品。MEMS立体加工技术是微电子工业中成熟的技术,本项目申请人可与南京大学微加工中心合作,刻蚀不同深度、结构的样品。上述样品的制备中,反应离子刻蚀Si基片层在南京大学微加工中心完成。 传感敏感膜的制备:我们前期的研究结果显示,与磁控溅射法制备三氧化钨(WO3)气体检测敏感膜相比较,溶胶-凝胶法制备的敏感膜具有更高的灵敏度(这与制备样品的表面吸附面积有关),所以拟采用溶胶-凝胶法制备三氧化钨气体检测敏感膜。生物敏感膜采用本实验室比较成熟的“金-蛋白质A-免疫球蛋白(IgG)”方法制备,此法工艺简单、可操作性强。以上传感敏感膜样品均在本实验室制备。(三)应用探讨 文献[14,20]已报道了体声波传感器在生化领域的应用,本项目直接采用文献中的方法,探讨多层薄膜体声波传感器在生化领域中的应用,特别是厚度剪切振动模式传感器在气、液体环境中微量物质传感的应用。 2、研究工作的总体安排及进度 2009.04—2009.12(1)进一步研究多层薄膜体声波传感器的厚度剪切振动特性;(2)寻找具有最优有效机电耦合系数和谐振品质因子的谐振模式形成条件,谐振频率、高次谐振模式分布与多层薄膜材料的弹性参量、声阻抗、厚度的关系;(3)研究厚度剪切振动模式的激发与优化,利用多层压电薄膜换能器激发厚度剪切振动模式,并开展相关传感器的制备工作;(4)参加国内学术会议一次。2010.01—2010.12(1) 研究温度补偿薄膜在多层薄膜体声波传感器中的温度补偿机理;(2) 研究传感敏感膜为粘弹性材料时,敏感膜表面质点振幅和谐振品质因子的变化规律;(3)参加国际学术会议一次。2011.01—2011.12(1)利用温度补偿薄膜,设计制作高频(GHz)条件下具有低温度系数的多层薄膜厚度剪切振动模式传感器件;(2)生物敏感膜制备,探讨多层薄膜厚度剪切振动模式传感器在生物化学等气、液媒质中的应用。
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