时间不少于 10天。在硬件支持的前提下,免费提供软件升级。 2)整机保修期 3年,保修期内出现问题,应在接到用户通知后 2个工作日内到现场。保修期后仅收取零配件成本价。 3)在保修期外软硬件出现的问题,接到用户通知后 24小时内给予答复,2个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案,如因卖方原因不能及时修复,保修期将相应顺延。设备供应商提供终身维修。交货日期: 签订合同后 18周内交货。纳米操作手臂部分 1)探针台 Stage 尺寸: 230mm (L)X130mm (W)X40mm (H) 2)探针台 Stage 运动: X,Y,Z三轴直角坐标 3)探针台 Stage 行程: 20mm*20mm*5mm (X,Y,Z) 4)X,Y,Z粗调分辨率: 10nm 5)探针台 Stage 精调范围: 1um (X,Y,Z ) 6)X,Y,Z精调分辨率以及步长: 1nm 7)探针台机械手臂数量: 4个 8)探针台 Stage 控制:操纵杆,按键和旋钮 9)电测试探头: 4个 10) 样品台旋转角度±30度, 可配合探针针头的运动。 11) 探头受力为 2N 12) 功能:移动、转移、排列、两端接触以及测试所有电气测试,静态测试,动态和频闪实验(电阻, EBIC ,OBIC 等等。) 13) 探头包括电学测试探头,通过密封式法兰与外界链接 14) 可安装于各类 FIB 以及 SEM 中 15) 外围电源 220V ,可根据客户需求选用不同线缆。 16) 在控制器上有通信窗口,可进行数字式动作软件控制。TouchDown 软件可方便的实现重复操作,保证实验重复性以及和其他系统电脑的联用。 17) 保修期三年附件清单: 1)机械操纵手臂 4个 2)探针台 3)电学探头 4个 4)控制器以及软件 5)配套线缆以及光纤馈通